石英玻璃晶圓（Quartz Glass Wafer）

        石英玻璃是晶圓是一種只含二氧化硅單一成份的特種玻璃。由于種類、工藝、原料的不同，國(guó)外常常叫做硅酸玻璃、石英玻璃、熔融石英、熔凝石英、合成熔融石英，以及沒(méi)有明確概念的透明、半透明、不透明石英制品等。
        石英玻璃晶圓在半導(dǎo)體、光學(xué)等行業(yè)中應(yīng)用非常廣泛，隨著半導(dǎo)體及光學(xué)技術(shù)的飛速發(fā)展，石英玻璃晶圓的需求量也在快速增長(zhǎng)，下游廠商對(duì)石英玻璃晶圓加工精度的要求也愈發(fā)嚴(yán)格。為滿足下游廠商對(duì)于石英玻璃晶圓產(chǎn)品質(zhì)量與數(shù)量的要求，解決石英玻璃晶圓加工制造過(guò)程當(dāng)中加工效率低、產(chǎn)品精度差、檢驗(yàn)包裝不規(guī)范等問(wèn)題。基于客戶實(shí)際使用反饋，參照硅類晶圓加工方法并結(jié)合石英玻璃基板的加工經(jīng)驗(yàn)，從材料制造、坯料制備、精密退火、多刀切割、成型加工、精密磨拋、成品檢驗(yàn)和清洗包裝等方面對(duì)石英玻璃晶圓的加工工藝統(tǒng)籌開(kāi)展了研究。